新しい白色光干渉計であるinterferoMETER IMS5200-26THは、高速・高精度のインライン測定に対応するよう設計されています。1～100 µmの層厚みをナノメートル精度で測定し、± 100 nm以下の優れた直線性を実現するだけでなく、最大5層の薄膜のマルチピーク測定も可能にしました。測定レートは100 Hz～24 kHzの範囲で無段階に設定することができます。また、測定対象の材料選択リストをコントローラに保存しているため、使用時にリストから選択することで最大限の柔軟性を発揮します。材料を別途登録する必要はありません。
IMS5200-26THの用途は多岐にわたり、ガラスウェハやフォトマスクのエアギャップ測定や飲料用パックのコーティング工程の検査、金属産業における塗装厚み試験にまで及びます。半導体製造、鉄鋼・非鉄金属産業、包装産業などの分野は、Micro-Epsilonの新しい干渉計シリーズの使用で大きなメリットを得ることができます。
センサとコントローラは出荷前に工場で校正されているため、ナノメートルの精度でエアギャップや層厚みを測定できます。コンパクトで堅牢なセンサ構造と26±2 mmの広いワーキングディスタンスにより、センサ設置スペースが限られた生産ラインにも容易に組み込むことができます。コントローラはDINレールで制御盤内に取り付けることができます。
Micro-Epsilonでは、最新のネットワークにシームレスに統合するために、Ethernet、EtherCAT、RS422だけでなく、高度なエンコーダ入力、デジタル I/O及びアナログ出力も提供しています。汎用性の高いインターフェースにより、測定値を既存のアナログ出力経由で効率的に処理し、既存のオートメーションシステムに柔軟に統合することができます。
保護等級はIP40（コントローラ）、IP65（センサ）、使用温度範囲は+10～+50℃なので、センサは産業環境でもご使用いただけます。また、クリーンルームや真空などの特殊な環境でも使用できます。高い衝撃や振動負荷がかかった場合でも、干渉計は一貫して高い測定結果を提供します。Micro-Epsilonの白色光干渉計は、従来の干渉計と比較して、運転開始とパラメータ設定をウェブインターフェース経由で簡単に行えるため、追加のソフトウェアをインストールする必要がありません。