interferoMETER 5400-DSならびに5600-DSシリーズは、ナノメートル精度で測定が可能な絶対距離測定白色干渉計です。この度、10 mmという大きなオフセットを持つ新しいセンサが製品ラインアップに加わりました。これらのセンサはクリーンルームや真空環境下での高精度が要求されるアプリケーション向けに設計されていますので、たとえば真空チャンバー内におけるコーティングされたウェーハの測定などに使用できます。さらに、オプションのチタン製センサ、UHV仕様ケーブルを用いることで、核スピンや電子ビーム顕微鏡などの医療技術で見られるような強磁場での使用も可能になります。
90°のビーム経路により高さ方向のスペースを大幅に抑えることもできます。また、コントローラにより< ±50 nm または < ±10 nmの直線性から選択いただけます。革新的な高精度絶対距離測定干渉計は、様々な制御システムやプログラムに統合できるよう幅広い接続インターフェースを用意しています。アナログ出力だけでなく、イーサネット、イーサキャット、RS422、プロフィネット、イーサネットIPなどのデジタルインターフェースにも対応しています。コントローラの設定は、ウェブブラウザを介して容易に行うことができます。