新しい共焦点式高温センサ IFS2407-xHT/VACは、Micro-Epsilonの製品群の中で、最高200℃の高温に耐えられる初めての光学センサです。有機接着剤を使用しないステンレス製の高温センサは、低アウトガスのため、超高真空（UHV）での使用に最適です。センサが周囲に熱を放射しないパッシブコンポーネント設計も真空中の測定に有利に働きます。
多用途で高精度
革新的なHTモデルは、反射面や拡散面の変位や距離測定だけでなく、薄膜測定にも使用できます。HTセンサは、最大±0.18 µmという優れた直線性と、最大0.1 µm/℃という極めて高い温度安定性も誇っています。このため、共焦点式センサは、半導体やエレクトロニクス産業、精密機械における測定タスクに最適です。
設置状況に柔軟に対応
コンパクトなデザインのこれらのセンサは、設置スペースが限られた用途に最適です。高さ方向のスペースを小さくした光をラジアル方向に照射するモデルもあります。革新的なHTセンサは、測定範囲0.8mm、2mm、4mmがあり、既存のプロセスシステムに簡単かつ迅速に組み込むことができます。これらのセンサは弊社の共焦点式 IFCコントローラと互換性があります。