capaNCDTシリーズの静電容量式変位センサは、極めて高い精度、安定性、汎用性を備えています。最小分解能0.03 nm、コンパクトな設計、マルチチャンネル対応、OEM対応ソリューションにより、産業分野から研究開発まで幅広い用途に適しています。世界でも類を見ない幅広い製品ラインアップは、-270～+800 ℃という極端な温度範囲にも対応し、標準的な用途から特殊な用途まで最適なセンサを提供します。
過酷な環境に対応する新しいセンサ
Micro-Epsilonは、特に厳しい使用条件に対応するセンサとして、新たにCSH/SEシリーズを製品ラインアップに追加しました。本シリーズは、測定範囲0.2～5 mmの円筒型センサ5機種とフラット型7機種で構成されています。これらは実績のあるCSH標準機種をベースとしており、設計やケーブルサイズもほぼ同一です。一方で、その構造は超高真空やクリーンルームでの使用から強磁場や極端な温度環境に至るまで、特殊な使用条件に対応できるよう設計されています。
過酷な条件に対応する設計
SEセンサは-270～+200 ℃の温度範囲に対応し、優れた温度安定性を実現します。非磁性チタン製ハウジングにより、研究開発、極低温用途、航空宇宙分野など、強磁場の近くでの使用に特に適しています。内蔵ケーブルはアウトガスが極めて少なく、耐熱性と機械的強度も兼ね備えています。
真空・クリーンルーム用途への最適化
真空およびクリーンルーム用途で使用するため、SEセンサは出荷前に特別な洗浄処理が施されます。材料選定では汚染を可能な限り抑えることを重視し、残留ガス分析に最適な状態に整えられています。そのため、粒子加速器、半導体製造装置、化学気相成長プロセスなど、10⁻¹⁰ mbarまでの超高真空環境下での使用が可能になります。
組み込みの自由度を高める新しいギャップセンサ
SEセンサに加え、Micro-Epsilonは静電容量式ギャップセンサの製品ラインアップも拡充しています。新しいCSG-0.5/CRg2.0、CSG-1/CRg2.0、CSG-1/90/CRg2.0は、従来のCSGセンサより大幅にコンパクトな設計になっています。さらにCSG-1/90/CRg2.0は、測定面を側面に配置した構造により、センサの高い適応性を示しています。これにより、極めて狭い設置スペースでも高精度なギャップ測定を確実に行うことが可能です。製品ラインアップの拡充に合わせて、capaNCDTカタログも全面改訂され、新しいコンテンツ、図、ビジュアルが追加されています。