Micro-Epsilonは、IMP-NIR-TH3/90/IP68センサにより、シリコンおよび炭化ケイ素ウェハの厚さ測定に対応した特に堅牢なセンサで白色干渉計interferoMETERシリーズを拡充しました。90°の光路を備えたセンサは作動距離がわずか3 mmと小さいため、設置スペースが非常に限られたアプリケーションに最適です。
研削加工における安定した測定
このセンサは、スラリー研削のような要求の厳しい工程で真価を発揮します。IP68準拠の堅牢なステンレス筐体は、高湿度や粒子負荷の高い条件下でも機械内で直接使用できます。特に研削工程やラッピング工程では、きれいな外観が特に重要です。これは内蔵のエアブラスト装置によって保証され、光学系を常に微粒子から守り、安定した測定を可能にします。
狭い設置条件に対応した90°ビーム
センサの主な特徴は90°の光路で、設置スペースが非常に限られている場合でも統合が可能です。わずか3 mmの作動距離と直径15 µmの非常に小さな光スポットにより、正確なインライン測定を機械内で直接行うことができます。IMP-NIR-TH3/90/IP68センサはIMS5420コントローラで動作し、高い信号品質が重要な高ドープウェーハの測定用に、コンパクトでプロセス信頼性の高いソリューションを提供します。