Micro-Epsilon社の高速ステアリングミラー (FSM) は、レーザ光を正確に偏向させるために使用される超小型チルトミラーです。FSM3000 チルトミラーシステムは、最高の精度と最大限のダイナミクスを兼ね備えています。組み込みが容易で、非常に堅牢であり、工業、光学、航空宇宙、防衛分野での用途に適しています。

新製品のeddyNCDT 3020は、工業用途において高速かつ高精度で変位・距離・位置を測定するためのコンパクトで高性能な渦電流式測定システムです。高性能なコントローラは分解能が高く、急激な距離変化を高精度で測定します。

3DInspectは、Micro-Epsilonのすべての3Dセンサに対応した、使いやすいソフトウェアツールです。現在、ソフトウェアのバージョン3.0をご利用いただけます。表面検査用の機能拡張により、均一な表面との偏差を検出することが可能になりました。そのため、3DInspectはデジタル品質管理に使用することができます。検査は所定の基準に従って行われるため、主観的な影響は排除されます。これにより、欠陥の早期発見が可能になります。

真空中の測定では、使用するセンサ技術に最も高い要件を課します。そこで、Micro-Epsilonの精密な測定機器が真価を発揮します。信頼性が高く、非接触で測定するセンサは、様々な真空クラスにおいて正確で安定したデータを出力します。ご要件に応じて、センサを用途に応じて設定し、それぞれの条件に合わせて最適にカスタマイズすることができます。