interferoMETER：特殊な要件に対応するパワフルなセンサ

2023-06-13

interferoMETERシリーズにより、マイクロエプシロンは産業用距離・厚さ測定に革新的かつ最高精度の白色光干渉計をご提供します。レーザー干渉計とは対照的に、信号ジャンプがあっても絶対距離の測定が可能です。分解能はピコメートルのレンジにまで達し、特殊な環境下でも高性能な測定が行える3種類の新しいセンサをご用意しています。

interferoMETER IMP-DS0.5/90/VAC90°

小さな設置スペース用距離センサ
測定範囲 1.5 mm
直線性 ±10 nm（コントローラーにより異なる）
ラジアルビーム出口
超高真空まで対応の真空アプリケーション用設計

interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)

温度安定性が最高精度のセンサ
測定範囲 2.1 mm
直線性 ±10nm（コントローラーにより異なる）
センサ素材はインバー製
超高真空まで対応の真空アプリケーション用設計

interferoMETER IMP-DS1/VAC

小型距離センサ ø4 mm
測定範囲 1.1 mm
直線性 ±10 nm（コントローラーにより異なる）
ケーブル一体型で設置が簡単
超高真空までの真空アプリケーション用設計