サブマイクロメートル精度で安定した厚み測定を行うための白色光干渉計
新しい白色光干渉計IMS5200-THは、安定した高速厚み測定に新たな視点を切り開きます。コントローラにはインテリジェントな評価機能が搭載されており、1 µmからの透明な層の厚みを高精度で測定することができます。測定レートは最大24 kHzと高いため、IMS5200モデルは工業用途に最適です。

マルチピーク厚み測定
マルチピークコントローラ仕様では、複数の信号ピークを同時に評価できます。これにより、透明な物体や合わせガラスのマルチピーク厚み測定を行うことができます。コントローラは、その位置に依存することなく最も安定性の高い厚み値を出力します。