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interferoMETER 5200-TH

極薄のガラスやフィルムの高精度な厚み測定

サブマイクロメートル精度で安定した厚み測定を行うための白色光干渉計

新しい白色光干渉計IMS5200-THは、安定した高速厚み測定に新たな視点を切り開きます。コントローラにはインテリジェントな評価機能が搭載されており、1 µmからの透明な層の厚みを高精度で測定することができます。測定レートは最大24 kHzと高いため、IMS5200モデルは工業用途に最適です。

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特徴

  1. 最大24 kHzの測定レートによる安定した高速測定
  2. 広い作動範囲による容易な組み込み
  3. 高精度な厚み測定:1 µm ~ 100 µm
  4. マルチピーク測定:最大5層までのマルチピーク測定が可能
  5. 堅牢な金属製ハウジングを備えた、工業環境に適応したセンサ
  6. 真空中で使用可能
  7. ウェブインターフェースによる簡単な設定
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Micro-Epsilon Japan K.K.
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2枚のガラス板間のエアギャップ測定 (n~1) では、測定範囲は1.5 µm ~ 150 µmです。ガラス厚み測定(屈折率 ~1.5)では1 µm ~ 100 µmです。

変動する測定距離での安定した厚み測定

白色干渉計IMS5200-THは高精度な厚み測定に使用されます。その際の決定的な利点は、可動測定対象物でもナノメートル精度で厚み値が得られる、距離に依存しない測定です。1 ~ 100 µmの測定範囲により、薄い透明層やフィルムを測定することができます。

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マルチピーク厚み測定

マルチピークコントローラ仕様では、複数の信号ピークを同時に評価できます。これにより、透明な物体や合わせガラスのマルチピーク厚み測定を行うことができます。コントローラは、その位置に依存することなく最も安定性の高い厚み値を出力します。

工業環境に理想的

堅固なセンサおよび金属ハウジング内のコントローラは、生産ラインへの組込み用システムに最適です。コンパクトなセンサ設計と広い作動範囲により、センサは簡単に組み込み可能であり、振動時でも安定した測定結果を出力します。コントローラはDINレールマウントを介して制御キャビネットに取り付けることができます。最大10 mのケーブル長さによって、センサとコントローラを空間的に隔てることができます。セットアップとパラメータ設定はウェブインターフェース経由でスムーズに行うことができ、ソフトウェアのインストールは不要です。

要求の厳しい測定タスクに対応する多様なモデル

モデル 測定範囲/測定開始距離 直線性 測定可能な層数 使用分野
IMS5200-TH26 26 mm ±2 mm / 1µm ~ 100 µm  < 1 nm 1層 フィルムやガラスのコーティングなど、薄い透明層の安定した高速インライン測定
IMS5200-TH26/VAC
IMS5200MP-TH26 最大5層