絶対距離・厚み測定のための高精度な白色光干渉計

白色光干渉計は、非可視領域の赤外光（波長約840nm）で動作するため、測定位置が目に見えません。この測定位置を可視化するため、マイクロエプシロンのシステムは測定位置に光点を投影するパイロットレーザーを搭載しました。さらにこのパイロットレーザーは、特許取得済みの方法により、測定位置に加えて距離のフィードバックも行います。測定対象物が正しい距離にあり、測定範囲内に存在する場合は、パイロットレーザーが点灯したままになり、測定対象物が測定範囲外に存在する場合は、パイロットレーザーが点滅します。

最高の精度を得るには、干渉計をターゲットに対して可能な限り直交するように配置する必要があります。このマウントアダプターは調整が可能なので、センサを測定対象物に対して最適にアラインメントでき、機械に取り付けた後のアライメント修正も行えます。産業用途向けのアダプタにより、センサをX、Y方向に移動させたり、ターゲットに対して傾けることができます。

コントローラおよびセンサの全ての設定は、追加のソフトウェアを必要とすることなく、使いやすいWebインターフェースを介して実行されます。WebインターフェースはEthernet接続を介して呼び出され、平均化、測定レート、プリセットなどを素早く容易に設定することができます。