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共焦点高温センサ IFS2407


次世代:最高200℃の使用に適した高温センサ

UHVまでの真空対応

精密機械製造や半導体産業に最適

200 ℃までの環境に対応した共焦点高温センサ

新しく登場したこの共焦点クロマティック高温センサは、過酷な環境下での測定において次世代の基準を打ち立てました。マイクロエプシロンのポートフォリオに初めて加わったこの光学センサは、最高の測定精度でありながら、200 °Cまでの温度にも対応しています。コンパクトな設計なので、設置スペースが非常に限られた用途に理想的です。この革新的な高温モデルには、さまざまな測定範囲や90°のビーム経路があり、設置状況に応じて柔軟な使用ができます。ガス放出が最小限に抑えられているため、超高真空(UHV)までの使用に適しており、精密機械製造や半導体産業での測定作業に最適です。

confocalDT IFS2407-0,8HT/VAC

  • 測定範囲(mm):0.8
  • 直線性:最大 < ±0.18 µm
  • 分解能:最大 < 6 nm
  • 低ガス放出特性:超高真空やクリーンルーム用途に最適
  • 極端な環境条件下での使用:200 °Cまでの温度で信頼性の高い測定が可能
  • ステンレススチール製ハウジング 1.4404

confocalDT IFS2407-2HT/VAC

  • 測定範囲(mm):2
  • 直線性:最大 < ±0.44 µm
  • 分解能:最大 < 10 nm
  • 低ガス放出特性:超高真空ガス放出クリーンルーム用途に最適
  • 極端な環境条件下での使用:200 °Cまでの温度で信頼性の高い測定が可能
  • ステンレススチール製ハウジング 1.4404
  • 90°ビームパスモデル

confocalDT IFS2407-4HT/VAC

  • 測定範囲(mm):4
  • 直線性:最大 < ±0.8 µm
  • 分解能:最大 < 24 nm
  • 低ガス放出特性:超高真空ガス放出クリーンルーム用途に最適
  • 極端な環境条件下での使用:200 °Cまでの温度で信頼性の高い測定が可能
  • ステンレススチール製ハウジング 1.4404
  • 90°ビームパスモデル
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