サブナノメートル精度の絶対距離測定のための白色光干渉計

New:Distance measurements with subnanometer resolution
interferoMETER IMS5600-DS
Distance measurements with subnanometer resolution

新しい白色光干渉計 IMS5600-DSは、最高精度で距離測定を行うために使用されます。コントローラにはインテリジェントな評価による特殊調整機能が搭載されており、サブナノメートルの分解能で絶対測定を行うことができます。この干渉計は、電子機器や半導体の生産といった最高の精度要件が求められる測定タスクに使用します。

特徴
  • サブナノメートル精度の距離測定
  • クラス最高:分解能 < 30ピコメートル
  • 段付きプロファイルなどの測定に最適な絶対測定
  • オフセット距離が長く、コンパクトで堅固なセンサ
  • 高速測定に対応した最大6 kHzの測定レート
  • Ethernet、EtherCAT、RS422
  • Webインターフェースを介した容易な設定
  • 真空環境に適したセンサとケーブル

広い測定範囲と長いオフセット距離による絶対距離測定

IMS5600-DSは、高精度な変位・距離測定に使用されます。このシステムは絶対測定値を提供するため、段付きプロファイルの距離測定にも使用できます。絶対測定により、高い信号安定性で段差のスキャンを行います。そのため、可動測定対象物を測定する際にヒール、段差、くぼみの高低差を確実に検知することができます。この測定システムは、サブナノメートルの分解能で測定範囲に関して長いオフセット距離も提供します。

真空環境における高分解能の距離測定に対応した設計

IMS5600-DSシリーズの干渉計は、真空環境およびクリーンルーム内での測定タスクに使用することができます。このような環境で、この干渉計はナノメートル範囲の分解能に達します。マイクロエプシロン社は真空空間での測定タスクに適したセンサ、ケーブルおよびケーブルダクトを提供いたします。これらのセンサとケーブルは微粒子が極めて発生しにくく、UHVまでのクリーンルームで使用することができます。 

最高精度の安定した距離測定

コントローラはDINレールを取り付けて制御キャビネットに装着することができ、能動温度補正機能および受動冷却機能により極めて安定した測定結果をもたらします。このコンパクトはセンサは設置スペースを大幅に節減し、また柔軟性の高い光ファイバケーブルが搭載されています。最大10 mのケーブル長さによって、センサとコントローラを空間的に隔てることができます。センサにはパイロットレーザが内蔵されているため、容易に素早く位置調整することができます。セットアップとパラメータ化はWebインターフェースを介してスムーズに行うことができ、ソフトウェアのインストールは不要です。

様々な表面の測定

干渉測定法によって、様々な表面を測定することが可能です。そのため反射する金属、プラスチック、ガラス上で高精度な距離測定を行うことができます。

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