サブマイクロメートル精度で安定した厚み測定を行うための白色光干渉計

New:High precision thickness measurements of thinnest glass and films
interferoMETER IMS5400-TH
High precision thickness measurements of thinnest glass and films

新しい白色光干渉計IMS5400-THは、工業分野における厚み測定に新たな視点を切り開きます。このコントローラにはインテリジェントな評価機能が搭載されており、透明な測定対象物の厚み測定を最高精度で行うことができます。

特徴
  • 距離変動時や振動している測定対象物のナノメートル精度の厚み測定
  • 反射防止コーティングされた測定対象物も長い距離から安定して測定
  • 堅固な金属ハウジングと柔軟なケーブルを備えた、工業環境に適応したセンサ
  • 高速測定に対応した最大6 kHzの測定レート
  • Ethernet、EtherCAT、RS422
  • Webインターフェースを介した容易な設定

変動する測定距離での安定した厚み測定

白色光干渉計 IMS5400-THは、比較的長い距離から高精度で厚み測定を行うために使用されます。その際の決定的な利点は、可動測定対象物でもナノメートル精度で厚み値が得られる距離に依存しない測定です。広い厚み測定範囲によって、薄い層、板ガラス、フィルムを測定することができます。白色光干渉計は近赤外域でSLEDで動作するため、反射防止コーティングされたガラスの厚み測定も可能です。

工業環境に理想的

堅固なセンサおよび金属ハウジング内のコントローラは、生産ラインへの組込み用システムに最適です。コントローラはDINレールを取り付けて制御キャビネットに装着することができ、能動温度補正機能および受動冷却機能により極めて安定した測定結果をもたらします。このコンパクトはセンサは設置スペースを大幅に節減し、また柔軟性の高い光ファイバケーブルが搭載されています。最大10 mのケーブル長さによって、センサとコントローラを空間的に隔てることができます。センサにはパイロットレーザが内蔵されているため、容易に素早く位置調整することができます。セットアップとパラメータ化はWebインターフェースを介してスムーズに行うことができ、ソフトウェアのインストールは不要です。

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