非接触式の距離・厚み測定に対応した高精度な白色光干渉計

interferoMETER IMS5400-DS

マイクロエプシロン社の革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚み測定におけるベンチマークを打ち立てています。このセンサはサブナノメートルの分解能で安定した測定結果をもたらし、比較的広い測定範囲と長いオフセット距離を提供しています。次の3シリーズの干渉計をご用意しています:高精度な工業用距離測定のためのIMS5400-DS、正確な厚み測定のためのIMS5400-TH、そしてピコメートル分解能の距離測定に対応した真空環境に適したIMS5600-DSです。

特徴
  • ナノメートル精度の絶対距離測定
  • 距離に依存しない厚み測定
  • クラス最高:分解能 < 30ピコメートル (IMS5600-DS)
  • 新しい評価アルゴリズムと能動温度補正による高い信号安定性
  • 長いオフセット距離
  • Webインターフェースを介した容易なパラメータ化
  • 堅固な金属ハウジングと柔軟なケーブルを備えた、工業環境に適応したセンサ
  • 真空環境に適したセンサとケーブル

工業分野およびオートメーションのための干渉計

工業用途に適した白色光干渉計は、堅固なセンサ、柔軟性の高いセンサケーブル、そしてDINレールに固定できるアルミニウム製ハウジング内のコントローラで構成されています。コントローラには能動温度制御機能が搭載されています。この機能は周囲温度の変化で補正されるため、比類ない温度安定性が得られます。干渉計の堅固なフォームファクタのおかげで、工業環境にも組み込むことができます。さらに最大10 mのケーブル長さによって、コントローラとセンサを空間的に隔てることができます。クリーンルームや真空空間での測定タスクに対応し、真空環境に適したセンサ、ケーブルおよびケーブルダクトが搭載されています。

極小の細部や構造を測定するための小さな光点

センサは、測定範囲全体にわたって小さな光点を形成します。光点の直径はわずか10 µmで、半導体や小型電子機器部品の構造といった小さな細部も検知することができます。光点はパイロットレーザで可視化され、センサの位置調整を容易にします。

Webインターフェースを介した容易な操作

コントローラおよびセンサの全ての設定は、追加のソフトウェアを必要とすることなく、使いやすいWebインターフェースを介して実行されます。WebインターフェースはEthernet接続を介して呼び出され、平均化、測定レート、プリセットなどを素早く容易に設定することができます。

機械およびシステムに統合するための最先端インターフェース

コントローラには、Ethernet、EtherCAT、RS422といった統合インターフェースおよび追加のエンコーダ接続部、アナログ出力、同期入力、デジタルI/Oが搭載されています。そのため、干渉計をすべての制御システムと生産プログラムに組み込むことができます。 

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