共焦点式変位・距離・位置および厚さ測定センサシステム

confocalDT

共焦点クロマティック式測定システムconfocalDTは、素早く距離測定と厚さ測定を行いたい場合に使用されます。様々なセンサモデルやコントローラインターフェースがあるので、半導体産業やガラス産業、医療技術、プラスチック製造といった多種多少な分野で役立てることができます。光点が小さいため、微細な構造も確実に測定が可能です。

特徴
  • 超高分解能かつ測定レートによる距離測定と厚さ測定
  • オートメーションや製造モニタリングに理想的
  • ほぼあらゆる表面で測定可能、鏡面やガラスにも対応
  • 極小かつ安定した光点
  • ナノメーターレベルで精確な分解能
  • 理想的な SN 比かつ工業グレードのコントローラ
  • 受動測定システム
  • NEW:光源が統合された世界最速のコントローラ

ほぼあらゆる表面で正確な変位・距離測定が可能

共焦点クロマティック式測定により、拡散反射表面でも鏡面反射表面でも高精度で変位や距離を測定することができます。光点が小さいため微小な測定対象もきちんと捉え、照射が軸方向でシャドーイング効果も発生ないので、スリーブやくぼみでの測定にも使用が可能です。また、90°側視タイプなら穴やくぼみの内壁検査を行うことができます。

透明体の厚さを片側から測定

共焦点クロマティック式による測定原理は、ガラスのような透明な物質の厚さ測定を可能にします。1つのセンサだけで厚さをマイクロメーターまで正確に検知します。コントローラ内にはそれぞれ編集や拡張が可能な物質データバンクが入っており、屈折率のような物質ごとに特有となるパラメータは、ウェブインターフェースを介して簡単に適応させることができます。ピークは最大6つまで評価できるので(マルチピーク測定)、合わせガラスといった多層の対象物も測定が可能です。

高分解能で素早いコントローラ

confocalDTコントローラはSN比が大変優れており、最高精度の測定を行うことができます。confocalDTコントローラは世界最速のコントローラの1つに数えられており、動的モニタリングで使用されるケースが多くあります。素早い表面補正が露光サイクルを制御するので高い安定性が得られ、反射特性が変化する表面では特に有利です。インターフェースにはEtherCAT、Ethernet、RS422およびAnalog Outが使用できます。

動的測定では最速の測定レート

confocalDT IFC2471HS コントローラは測定レートが 70 kHz と世界最速なので、主に動的モニタリングタスクに使用されています。表面ごとに露光を適合するため、CCD 列が動的に調整されます。この調整機能は、測定対象物の反射率変化を従来の光源制御に比べて非常に早く補正するので、高い測定レートで測定し、同時に表面のカラーが変化する場合でも、confocalDT コントローラの優れた測定精度に影響を与えません。

極小かつ微細な構造を測定する世界最小の集光点

マイクロエプシロンの共焦点センサは、非常に高い開口数(NA)で <3 µm という極めて小さい集光点を生成できるので、極小かつ微細な構造も確かな信頼性で捉えます。

大きい傾斜角

confocalDT IFS センサの傾斜角は最大48°と非常に大きいので、曲率の大きい表面や構造表面であっても確実に捕らえ、安定した信号を生成します。

真空内でも使用可能

confocalDT センサは受動部品で構成されていて、周囲に熱放射をしません。真空内での使用において、マイクロエプシロンはそれぞれの仕様に適した特殊センサ、ケーブル、アクセサリ部品をご提供しています。

ウェブインターフェースを介した簡単な操作

コントローラとセンサのコンフィグレーションはすべて、操作の簡単なウェブインターフェースを介して行うことができます。追加ソフトウェアは必要ありません。Ethernet接続でウェブインターフェースを呼び出せば、設定をすべてそこで行うことができます。厚さ測定のための物質データバンクが入っており、このデータバンクは自由に拡張が可能です。

Applications

Micro-Epsilon Japan K.K.
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