特殊用途のための静電容量センサ

capaNCDT
特徴
  • 測定範囲とケーブル長さの変更
  • 特注センサフォームファクタ:クリーンルームに適した仕様、極低温(4K)対応、材質のオプション(インバー®またはチタン)、ねじ付き
  • 内蔵エレクトロニクス搭載センサ
  • お客様の測定対象物への特別調整
  • 出力オプション

Embedded Capa Technology(ECT)搭載の静電容量変位センサ

特徴
  • あらゆる導電性物質の非接触測定
  • 高い分解能(2.5 nm)
  • 高い応答周波数(2 kHz、-3dB)
  • 高い繰返し精度(5 nm)
  • コンパクトなセンサ設計(10 mm)
  • カスタマイズハウジングへの統合用エレクトロニクスユニット
  • 200 µmといった小さな測定範囲に理想的
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