特殊用途のための静電容量センサ

capaNCDT

センサやコントローラの使用時には、標準仕様の機能ではカバーしきれないケースが少なからず生じます。こういった特殊なタスクに際し、マイクロエプシロン社では測定システムをお客様の基準に適応させています。よくあるカスタム要求として、例えばフォームファクタの変更や、対象物の調整、固定オプション、特注のケーブル長さ、測定範囲の変更、エレクトロニクス内蔵センサなどがあります。

特徴
  • 測定範囲とケーブル長さの変更
  • 特注センサフォームファクタ:クリーンルームに適した仕様、極低温(4K)対応、材質のオプション(インバー®またはチタン)、ねじ付き
  • 内蔵エレクトロニクス搭載センサ
  • お客様の測定対象物への特別調整
  • 出力オプション

Embedded Capa Technology(ECT)搭載の静電容量変位センサ

Embedded Capa Technology(ECT)搭載の静電容量センサは革新的な製造技術で生産されており、著しく高い超長期安定性能を有しています。非常に安定性の高いキャリア材に電極を組み込むことで、従来の構造を持つセンサに比べてはるかに高い安定性を保つことに成功しました。この新しい技術により、-270°C~+200°Cの温度範囲に耐えられる様々なセンサフォームファクタが実現されています。

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コンパクトなセンサと柔軟なシステム構造により、以下のようなOEMアプリケーションで経済的に使用することができます

  • ピエゾアクチュエータ
  • Z軸のレベリング
  • X軸とY軸のポジショニング
  • 軸方向振動
  • 熱膨張
特徴
  • あらゆる導電性物質の非接触測定
  • 高い分解能(2.5 nm)
  • 高い応答周波数(2 kHz、-3dB)
  • 高い繰返し精度(5 nm)
  • コンパクトなセンサ設計(10 mm)
  • カスタマイズハウジングへの統合用エレクトロニクスユニット
  • 200 µmといった小さな測定範囲に理想的

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