特殊用途のための静電容量センサ

センサやコントローラの使用時には、標準仕様の機能ではカバーしきれないケースが少なからず生じます。こういった特殊なタスクに際し、マイクロエプシロン社では測定システムをお客様の基準に適応させています。よくあるカスタム要求として、例えばフォームファクタの変更や、対象物の調整、固定オプション、特注のケーブル長さ、測定範囲の変更、エレクトロニクス内蔵センサなどがあります。
特徴
- 測定範囲とケーブル長さの変更
- 特注センサフォームファクタ:クリーンルームに適した仕様、極低温(4K)対応、材質のオプション(インバー®またはチタン)、ねじ付き
- 内蔵エレクトロニクス搭載センサ
- お客様の測定対象物への特別調整
- 出力オプション
Embedded Capa Technology(ECT)搭載の静電容量変位センサ
Embedded Capa Technology(ECT)搭載の静電容量センサは革新的な製造技術で生産されており、著しく高い超長期安定性能を有しています。非常に安定性の高いキャリア材に電極を組み込むことで、従来の構造を持つセンサに比べてはるかに高い安定性を保つことに成功しました。この新しい技術により、-270°C~+200°Cの温度範囲に耐えられる様々なセンサフォームファクタが実現されています。
磁界、極低温(低温技術)、真空空間のための静電容量式センサ

マイクロエプシロン社の静電容量式変位センサは真空空間やクリーンルームで使用されることが多く、ナノメートルの分解能を提供します。センサ、ケーブル、ケーブルダクトは微粒子が極めて発生しにくく、クリーンルームクラス1まで使用することができます。

マイクロエプシロン社は、強い磁界のある環境に対応したセンサとセンサケーブルを提供しています。どちらもチタンやステンレス鋼といった非磁性の材料で構成されています。三軸センサ構造で遮蔽されているため、耐干渉性が良好です。

極低温/低温技術に理想的:温度安定性が高いセンサ構造によって、ナノメートルの分解能を実現しながら絶対零度までの温度で使用することができます。

コンパクトなセンサと柔軟なシステム構造により、以下のようなOEMアプリケーションで経済的に使用することができます
- ピエゾアクチュエータ
- Z軸のレベリング
- X軸とY軸のポジショニング
- 軸方向振動
- 熱膨張
特徴
- あらゆる導電性物質の非接触測定
- 高い分解能(2.5 nm)
- 高い応答周波数(2 kHz、-3dB)
- 高い繰返し精度(5 nm)
- コンパクトなセンサ設計(10 mm)
- カスタマイズハウジングへの統合用エレクトロニクスユニット
- 200 µmといった小さな測定範囲に理想的