ひびや破損の検査

マイクロエプシロンによる共焦点クロマティックセンサは、ウェーハ上でのひびやその他の欠陥を検出するのに使用されており、コントローラ内の高速表面補正機能により反射特性が様々に異なる表面でも確かな測定が可能です。集光点が極めて小さく分解能も高いので、ウェーハ上の微細な欠陥も確実に捉えることができます。