技術用ミラーの高精度測定
反射性部品や光沢のある部品の高精度3D測定が必要な場合、reflectCONTROLセンサが使用されます。この技術はナノメートルの精度で高速測定が可能であるため、とりわけ平面の測定に最適です。
reflectCONTROLセンサは、技術用ミラーの表面を最大500万のデータポイントでキャプチャし、測定対象を正確に再構成することにより、多数の表面変形を特定します。傷やへこみ、切り込みなどのくぼみや、突起、粒、ビードのような隆起も視覚化でき、表面の反射率を変化させるあらゆる影響が振幅画像に表示されます。指紋やその他の汚れなどが、その典型的な例です。
3Dセンサは、位相測定偏向計の原理を使用しており、特にナノメートル単位の極めて高いZ軸解像度が特徴です。約170mm x 160mmの広い測定範囲と組み合わせることで、最大500万点の測定表面データを数秒で取得することができます。