光学システム
光学産業における測定タスクは、センサにとって非常に困難な課題として知られています。反射性の表面や光沢のある測定対象物を高い分解能かつ高速で測定しなければならないのに加え、ほとんどの場合で測定表面の構造も大変複雑です。
リソグラフィー機械におけるナノメーター精度のポジショニング
ウェーハ上でコンポーネントの1つ1つを露光するには、リソグラフィー機械がウェーハをそれぞれの位置にずらしていかなければなりません。ナノメーター精度のポジショニングを可能にするため、静電容量変位センサが変位を測定します。
詳細を表示する顕微鏡やスマートフォン用レンズの品質点検
レンズの画質点検は、光軸上とレンズ軸外での波面測定をもとに行います。さらに、自動化された測定プロセスにより焦点距離、色収差、分極効果、PSFやMTFについての情報を得ることができます。
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コンタクトレンズの測定
コンタクトレンズに使用する新しい物質を探す場合、その物質は様々な検査をクリアする必要があります。加温による膨張でレンズの寸法がケース内でどう変化するか、optoCONTROL 2600を使い非接触式で点検します。
詳細を表示する眼内レンズの屈折度測定
眼内レンズの屈折度分布や画質、レンズ径の測定では、波面ベースの測定システムが使用され、その際人間工学に基づいたレンズのハンドリングと、高い測定速度が決定的な役割を果たします。
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レーザーシステムの調整
レーザーシステムやファイバー光学システムの調整には、ビームパラメータの測定の他にもシャックハルトマン波面センサが使用されます。振動の影響を受けず、様々な波長で使用でき、ハイダイナミックレンジであることがその利点です。
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コンタクトレンズとモールドの表面形状測定
プロセスのコントロールや最適化を図るため、すでに製造プロセスの段階でコンタクトレンズの表裏両面に入射光測定を行います。この測定でモールドとツールを測定し、ツールオフセットも算出します。
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多機能光学点検による品質保証
光学システムは、マイクロメートル次元のマイクロ光学から直径数メートルのテレスコープレンズまで幅広い範囲を包括しています。Optocraftには光学点検を行うためのシャックハルトマン波面技術をベースにした多機能システムが搭載されており、
詳細を表示する両眼鏡／スポッティングスコープと対物レンズの検査と調整
通過した波面を正確に測定すれば、光学システムの画質を質的に評価でき、システムのインライン調整が可能になります。測定モジュールSHSInspect RLはフレキシブルにテストベンチへ統合することができます。
詳細を表示する光学平面レンズの光学品質測定
光学フィルタおよびウィンドウの質に求められる要求レベルは、多くの場合非常に高度です。ドイツにあるOptocraft社は、透過光内での波面誤差や表面欠陥を測定するためのターンキーソリューションを提供しています。
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