光学システム
光学産業における測定タスクは、センサにとって非常に困難な課題として知られています。反射性の表面や光沢のある測定対象物を高い分解能かつ高速で測定しなければならないのに加え、ほとんどの場合で測定表面の構造も大変複雑です。
レンズの曲率測定
製造時の許容範囲を逸脱することがないように、眼鏡のレンズや対物レンズといった光学レンズの輪郭を共焦点クロマティックセンサで測定します。距離値をもとに表面特性についても判断でき、センサの傾斜角が大きいので曲率の大きい表面でも測定することができます。
Recommended sensor technology
共焦点式変位・距離・位置および厚さ測定センサシステムカメラのオートフォーカス測定
可能な限り最高のカメラ画質を実現するため、共焦点センサが個々のオートフォーカスレンズ同士の距離を測定します。
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共焦点式変位・距離・位置および厚さ測定センサシステム鏡面の表面検査
鏡のような光学部品では高い表面均一性が求められます。鏡面の点検には表面の偏差の検知や分類を行える reflectCONTROL センサが使用されてします。
多機能光学点検による品質保証
光学システムは非常に多くの産業分野やアプリケーションで使用されており、マイクロメートル次元のマイクロ光学から直径数メートルのテレスコープレンズまで、幅広い範囲を包括しています。Optocraft には光学点検を行うためのシャックハルトマン波面技術をベースにした多機能システムが搭載されており、その測定システムが高精度な波面測定をもとに光学レンズの質に関する情報を提供するので、開発・製造プロセスの最適化に大いに役立ちます。
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Optische Systeme von Optocraftレンズの中心厚測定
製造時の許容範囲を逸脱することがないように、眼鏡のレンズや対物レンズといった光学レンズの中心厚を共焦点クロマティックセンサで測定します。測定は片側のみから行い、非常に薄いレンズであっても測定を実施することができます。
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共焦点式変位・距離・位置および厚さ測定センサシステムリソグラフィー機械におけるナノメーター精度のポジショニング
ウェーハ上でコンポーネントの1つ1つを露光するには、リソグラフィー機械がウェーハをそれぞれの位置にずらしていかなければなりません。ナノメーター精度のポジショニングを可能にするため、静電容量変位センサが変位を測定します。
