ウェーハの傾き測定

ウェーハのハンドリングにおいて、ウェーハの位置が正確であるかどうかは決定的な影響を与えます。白色光干渉計がウェーハの供給時にウェーハの水平方向の傾き測定を行い、その際ウェーハ上で2つの干渉計が測定を実施します。マイクロエプシロンの白色光干渉計ならサブナノメートルの分解能により絶対距離値が測定できるので、ウェーハの搬出入時における位置精度を最大限に保証することができます。