ホールソー軸方向の動きのモニタリング

ホールソーはシリコンインゴットの切断に使用されます。インゴットの確実な分離を行うために鋸刃またはホルダーを渦電流センサーでモニタリングし、4つのセンサが鋸の支持部までの距離を非接触で測定します。このセンサは周波数特性が高いだけでなく埃や汚れの影響も受けにくく、鋸刃の軸方向の偏差を正確に捉えるので、シリコンウェーハの均一で均等なカットが可能になります。

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