ウェーハステージのポジショニング

マイクロエプシロンの非接触式センサは、ウェーハステージの位置をモニタリングするために使用され、極めて高い加速を行うステージでもハイダイナミックな XYZ 軸動作を測定します。静電容量センサやインダクティブ(渦電流)センサはナノメートルレベルでの分解能を実現しており、露光するウェーハをナノメートルまで精確にポジショニングする手助けをします。革新的な技術が採用されているので真空内でも使用でき、強い磁界からも影響を受けません。

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