ウェーハステージのポジショニング

マイクロエプシロンの非接触式センサは、ウェーハステージの位置をモニタリングするために使用され、極めて高い加速を行うステージでもハイダイナミックな XYZ 軸動作を測定します。静電容量センサやインダクティブ（渦電流）センサはナノメートルレベルでの分解能を実現しており、露光するウェーハをナノメートルまで精確にポジショニングする手助けをします。革新的な技術が採用されているので真空内でも使用でき、強い磁界からも影響を受けません。