It seems you're coming from the US.
Would you like to switch to the American website?
Micro-Epsilon America
No, stay on the Micro-Epsilon International Website
ウェーハ上でコンポーネントの1つ1つを露光するには、リソグラフィー機械がウェーハをそれぞれの位置にずらしていかなければなりません。ナノメーター精度のポジショニングを可能にするため、静電容量変位センサが変位を測定します。