シリコン製インゴットの寸法検査

シリコン製インゴットの形状検査にマイクロエプシロン社のレーザープロファイルスキャナが使用されています。このスキャナはシリコンロッドの形状全体を把握するので、シリコンブロックの幾何学的な偏差を分離前に検出することができます。インゴットには位置合わせに必要なオリエンテーションノッチが備わっていることがが多く、このノッチのプロファイルの寸法精度の点検にはマイクロエプシロン社のブルーレーザースキャナーが使用されており、ノッチプロファイルを高い精度で捉えます。