反射表面の検査用3Dセンサ

反射表面の3D測定用デフレクトメトリセンサ

reflectCONTROL RC130 は、反射性の表面を持つ部品の形状測定を目的に開発されました。センサがディスプレイにフリンジパターンを映し、それが被測定物の表面でセンサのカメラに反射します。このセンサは表面の3D画像を提供し、その画像をもとに部品のトポロジー（平面度、たわみ、曲率など）を判断することができます。RCS130モデルは、生産ラインなどでの測定や検査作業に最適なモデルであり、GigE Visionインターフェースが搭載されているので、GenICamに準拠した形でデータを利用することができます。

反射表面を持つ部品の表面検査

コントローラ内蔵のreflectCONTROL RCS110-245は、固定式の測定や機械への組み込み用に設計されています。コンパクトなセンサで反射面の凹凸を検出し、ソフトウェアで処理を行い反射率や曲率の画像として表示します。取得した表面画像は、GigE Visionを介して多数の画像処理ソフトウェアパッケージに転送し、さらなる処理を行うことができます。

3DInspect：3次元計測・検査のタスクを解決するソフトウェア

3DInspectソフトウェアは、センサのパラメータ設定や産業用計測タスクを解決するための強力なツールです。このソフトウェアはセンサからの測定データをイーサネットで送信し、3次元的に表示します。この3Dデータはさらに、3DInspectの測定プログラムを搭載したPCで処理され、評価、査定、必要に応じてログへの記録が行われ、イーサネット経由でコントロールユニットに送信されます。3Dデータは必要に応じてソフトウェアで保存することができ、ソフトウェアを使用してセンサの設定やパラメータ設定が行えます。オートメーション・インターフェースに接続する場合は、SC3510センサを使うことで3DInspect Automationの機能拡張が可能になり、包括的なデータロギングも可能になります。

マイクロエプシロン3D-SDKを介したソフトウェア接続

reflectCONTROLには組み込みが簡単なSDK（ソフトウェア開発キット）が備わっています。このSDKは業界標準のGigE VisionとGenICamをベースにしており、以下の機能ブロックなどがあります：

• ネットワークの設定とセンサへの接続
• 豊富なセンサ制御
• 測定画像の伝送制御
• ユーザー定義のパラメータセットの管理
• C++サンプルプログラムとドキュメント

また、GigE Visionを介したセンサへのアクセスは、GenICamクライアントを使えばSDKなしでも可能です。

ウェーハの3次元形状検出

鏡面の表面検査

ノングレアコーティングが施されたガラス上での距離測定