共焦点クロマティックセンサ

高分解能・高速：高精度な距離測定と厚み測定

confocalDTセンサは極めて優れたS/N比を実現し、高精度で測定を行うことができます。素早い表面補正により、変化する表面でも極めて安定した信号が得られます。

小さな光点：細部や構造の測定

高い開口数（NA）を備えたマイクロエプシロンの共焦点式センサは、3 µm未満の極小の光スポットを生成します。それにより、細部や構造が確実に検出されます。

大きな傾斜角

confocalDT IFSセンサの測定角度は最大48°と広角なので、曲面や特に複雑な構造の表面を確実に検出し、安定した信号を生成します。

次世代：コンパクトで真空対応、200℃までの温度安定性

このたび、最高の測定精度かつ200 °Cまでの温度に耐える光学センサが初めて登場し、要求の厳しい環境における測定にとって新たな基準となる、次世代共焦点クロマティック高温センサがマイクロエプシロンのラインナップに加わりました。コンパクトな設計、様々な測定範囲、90°のビームパスにより、設置スペースが限られたアプリケーションに最適です。低アウトガス設計により、センサーは超高真空（UHV）までの使用にも適しています

真空環境での使用

受動部品で構成されているconfocalDT センサは、周囲に熱放射を放出しません。クリーンルーム、真空環境、超高真空などの仕様に適合する、真空環境での使用に特化したセンサ、ケーブル、アクセサリーがあり、軸方向および半径方向のビームパスを搭載しさまざまな測定範囲に対応したモデルをご提供しています。