静電容量式変位センサ

豊富なラインナップのセンサと卓越した精度
capaNCDT
豊富なラインナップのセンサと卓越した精度

マイクロエプシロンは、静電容量式変位センサの包括的な製品ポートフォリオを提供しています。静電容量式センサは変位測定や位置測定、厚さ測定などに使用され、センサのデザインが多様なので機械やシステムへの最適な統合が可能となっています。capaNCDTセンサは直線性、温度安定性、分解能において最高の値を実現しており、産業環境ではサブマイクロメートルレベル、クリーンな環境ではサブナノメートルの精度が達成されています。

特徴
  • 世界で最も高性能なセンサポートフォリオ
  • 最高の測定精度と信号安定性を誇る非接触距離・厚さ測定装置
  • 産業環境から真空・クリーンルームまで幅広い用途に対応
  • 磁界に対する高い耐干渉性
  • 極めて高い温度安定性と長期安定性
  • 真空対応仕様
Montage_Zylinder-Buchse_500x250px
CS005_500x250px
特徴
  • 測定範囲 (mm):0.05 | 0.1 | 0.2 | 0.25 | 0.5 | 0.8 | 1 | 1.25 | 2 | 3 | 5 | 10
  • 直線性 0.15 µm ~
  • 温度範囲 -50~+200 °C
  • 最大Ø17.8mmまでのアクティブな測定領域
  • ターゲット径 Ø 3 mm~
  • capaNCDTコントローラを介して測定範囲を2倍(精度低下)または1/2(精度向上)にすることが可能
  • 真空対応仕様もあり
Montage_Zylinder-Gewinde_500x250px
capaNCDT_Gewindesensoren_500x250
特徴
  • 測定範囲 (mm):0.5 | 1.25 | 2 | 3
  • 直線性 0.5 µm ~
  • 温度範囲 -50~+200 °C
  • 最大Ø 9.8mmまでのアクティブ測定領域
  • ターゲット径 Ø 6mm~
  • capaNCDTコントローラを介して測定範囲を2倍(精度低下)または1/2(精度向上)にすることが可能
  • ネジ山により極めて安定した取り付けを保証
Montage_Zylinder-Buchse_500x250px
CSH02_CAm14_500x250px
特徴
  • 測定範囲 (mm):0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2
  • 直線性 0.054 µm ~
  • 温度範囲 -50~+200 °C
  • 最大Ø 8.1mmまでのアクティブ測定領域
  • ターゲット径 Ø 7mm~
  • capaNCDTコントローラを介して測定範囲を2倍(精度低下)または1/2(精度向上)にすることが可能
  • 真空対応仕様
Montage_Flachsensor-Stecker_500x250px
Flachsensoren-Stecker_500x250px
特徴
  • 測定範囲 (mm):0.5 | 1
  • 直線性 0.5 µm ~
  • 温度範囲 -50~+100 °C
  • 最大4.2 x 5.1 mmまでのアクティブ測定領域
  • ターゲット径 約8 x 9 mm~
  • ギャップ測定に最適
Montage_Flachsensor-Kabel_500x250px
CSH02FL_CAm14_500x250px
特徴
  • 測定範囲 (mm) 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3
  • 直線性 0.05 µm ~
  • 温度範囲 -50~+200 °C
  • 最大Ø10 mmまでのアクティブ測定領域
  • ターゲット径 Ø 7mm~
  • capaNCDTコントローラを介して測定範囲を2倍(精度低下)または1/2(精度向上)にすることが可能
  • 真空対応仕様もあり
  • フラットなデザインにより省スペースでの設置が可能

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