ソーラーウェーハの生産は、まずいわゆるインゴットからウェーハを切り出すことから始まります。このブランクウェーハが次の加工工程に進める良質な部品として認められるためには、約180µmの指定厚さに適合していなければなりません。

ブランクの厚さ測定は、6台の静電容量センサがコンベア上で行います。2台のセンサが向かい合うように配置されているので、合計3つの厚さトラックを評価することができます。演算機能が内蔵されたマルチチャネルコントローラが、正確な厚さ信号を直接測定し、それにもとづいて部品がOK/NOKとして評価されます。さらにそれぞれの距離信号も出力され、表面品質や不均一性に関しての評価も行われます。

静電容量センサを使用したソリューションは、正確で安定した厚さ測定ができるという利点があります。光学式システムと比較すると、静電容量センサははるかに高精度です。また、演算機能内蔵のcapaNCDT 6200マルチチャネルシステムでは、距離と厚さの両方の信号を出力できます。