ウェーハの厚さ測定／TTV（Total Thickness Variation）

共焦点クロマティックセンサは、ウェーハの厚さや厚さの偏差（Total Thickness Variation）を測定します。ウェーハの厚さプロファイルをもとにウェーハのたわみや歪みも検知でき、測定レートが高いので短いタクトタイムで全ウェーハの厚さ測定を行うことができます。