白色光干渉計によるウェーハステージのポジショニング

マイクロエプシロンによるinterferoMETER IMS5600シリーズの白色光干渉計は、ウェーハステージの位置の監視に使用され、極めて早い加速を行うステージあってもXYZ 軸動作を測定します。高精度の光学システムがナノメートルレベルでの分解能を実現し、露光するウェーハをナノメートルまで精確にポジショニングする手助けをします。この測定システムは真空対応の測定ヘッドが備わっているため真空内でも使用でき、強い磁界からも影響を受けません