リソグラフィー機械でのレンズシステムのポジショニング

非接触式インダクティブ変位センサ(渦電流)は、最大限の画像正確性を実現するためレンズ素子の位置を測定します。レンズシステムの構造に応じて変位センサが最大6段階の自由度で変位や位置を検知し、さらに eddyNCDT センサの高い応答周波数により、レンズシステムのハイダイナミックな動きもモニタリングすることができます。

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