リソグラフィーでのマスクポジショニング用 白色光干渉計

リソグラフィープロセスでは、最大限の精度を発揮するために機械の動きを高い分解能で長期間に渡り安定して測定する必要があります。マイクロエプシロンの白色光干渉計IMS5400は、特殊な評価アルゴリズムとアクティブ温度補正により、マスクをナノメートルの精度でポジショニングすることができます。真空対応のセンサー、ケーブル、ケーブルブッシュが備わっているので真空環境での使用が可能です。

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