ウェーハの3次元形状検出

reflectCONTROLデフレクトメトリシステムは、150 mmウェーハの平坦度または平面度の測定に使用されており、たった1枚の画像のみで平坦性を検出します。これはセンサがウェハ上にフリンジパターンを投影し、それを内蔵カメラが撮影することで行います。ウェーハ上の幾何学的な偏差はフリンジパターンの歪みを引き起こすので、それをソフトウェアで評価して検出します。このセンサは反射性表面でも高精度な3D画像を生成できるので、トポロジーをマイクロメートルの精度で測定することができます。