高精度な距離測定用の静電容量式センサ
Micro-Epsilonの静電容量式センサは、変位測定、距離測定、ギャップ測定および厚み測定において最高精度を実現します。多様な筐体形状により最適な組み込みが可能で、卓越した直線性、温度安定性、分解能で高い評価を得ています。
静電容量式センサのモデル概要
円筒形標準センサ
型式CSxおよびCS-xの静電容量式センサは、円筒形の変位センサであり、周囲締めクランプまたはスポットクランプで取り付けられます。CS-xモデルは、最適なクランプ位置において筐体がわずかに広く設計されているため、簡単かつ繰り返し性のある取り付けが可能です。一体型ソケットにより、センサは容易にプラグ接続でき、各種センサケーブルと組み合わせて使用できます。
特長
- 測定範囲 (mm)：0.05 | 0.2 | 0.25 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
- 直線性：最小0.125 µm
- 分解能：最小0.015 nm
- 温度範囲：-50～+200 °C
- 測定対象物の直径：Ø 3 mm以上
- 優れた温度安定性
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小型設計の円筒形センサ
型式CSEの静電容量式センサは円筒形の変位センサであり、標準モデルの CSxおよびCS-xと比べ、同一の測定範囲でよりコンパクトな設計を備えています。そのため、狭い設置スペースでの使用に特に適しています。取り付けは、周囲締めクランプまたはスポットクランプで行われます。測定範囲に応じて、センサはプラグ接続タイプまたはセンサケーブル一体型タイプのいずれかです。
特長
- 測定範囲 (mm)：0.1 | 0.25 | 0.5 | 1 | 1.25 | 2 | 3
- 直線性：最小0.25 µm
- 分解能：最小0.03 nm
- 温度範囲：-50～+200 °C
- 測定対象物の直径：Ø 3 mm以上
- 優れた温度安定性
- コンパクト設計
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高精度な円筒形センサ
型式CSHの静電容量式センサは、最高精度が要求されるアプリケーション向けの円筒形センサです。取り付けは、周囲締めクランプまたはスポットクランプで行われます。さらに、センサはセンサケーブル一体型です。
特長
- 測定範囲 (mm)：0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2
- 直線性：最小0.08 µm
- 分解能：最小0.06 nm
- 温度範囲：-50～+200 °C
- 測定対象物の直径：Ø 7 mm以上
- 優れた温度安定性
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ねじ付き円筒形センサ
型式CSE/Mxの静電容量式センサは、筐体に一体化された取り付け用ねじを備えています。これにより、測定点に直接ねじ止めでき、クランプ固定ができない場合に使用されます。一体型ソケットにより、センサは容易にプラグ接続でき、各種センサケーブルと組み合わせて使用できます。
特長
- 測定範囲 (mm)：0.5 | 1.25 | 2 | 3
- 直線性：最小0.25 µm
- 分解能：最小0.15 nm
- 温度範囲：-50～+200 °C
- 測定対象物の直径：Ø 7 mm以上
- 優れた温度安定性
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フラットセンサ
型式CSHxFLの静電容量式センサは薄型設計を特徴とし、円筒形モデルと比較してより低い設置高さを実現します。コンパクトな構造により、センサケーブルはあらかじめ一体化されています。筐体に一体化された取付穴により、センサを容易にねじ止めできます。
特長
- 測定範囲 (mm)：0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3
- 直線性：最小0.08 µm
- 分解能：最小0.06 nm
- 温度範囲：-50～+200 °C
- 測定対象物の直径：Ø 7 mm以上
- 優れた温度安定性
- 薄型設計により省スペースでの組み込みが可能
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ギャップセンサ
型式CSGおよびCSFの静電容量式センサは、超薄型のプリント基板 (PCB) 形状を特徴とし、ギャップ測定に特に適しています。CSFモデルは、ギャップを片側から測定でき、片側が静止しているアプリケーションや検査・保守用途に適しています。一方、CSGモデルは、2つの個別の距離値に基づいてギャップ幅を算出し、両側から測定します。これらのセンサはギャップ内に自由に浮遊した状態で配置され、ギャップの両側が可動である場合（例えば2本の回転ロール間）に用いられます。
特長
- 測定範囲 (mm)：0.5 | 1 | 2 | 4 | 6
- 直線性：最小0.5 µm
- 分解能：最小0.15 nm
- 測定対象物の直径：約10 x 10 mmから
- 温度範囲：-50～ (+100) +150 °C
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800 °Cまでの環境向けの円筒形センサ
型式CSE/HTの静電容量式センサは、最大+800 °Cまでの特に広い温度範囲を特徴としています。一体型の高温対応センサケーブルは、電界および磁場による干渉の影響を補償します。高い温度安定性と非常に高い直線性の組み合わせにより、厳しい環境条件下でも高精度な測定結果が得られます。センサは周囲締めクランプで容易に取り付けでき、追加の標準センサケーブルで延長可能な一体型センサケーブルを備えています。
特長
- 測定範囲 (mm)： 1 | 2 | 5 | 10
- 直線性：最小0.5 µm
- 分解能：最小10 nm
- 非常に広い温度範囲：-50～+800 °C
- 測定対象物の直径：Ø 8 mm以上
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過酷な環境向けの堅牢なセンサ
型式CSH/SEおよびCSH/FL/SEの静電容量式センサは、例えば極端に低い温度や強い磁場が存在する過酷な環境向けに設計されています。さらに、クリーンルームおよび超高真空 (UHV) 環境でのアプリケーションにも最適です。センサは、円筒形タイプ (CSH/SE) とフラットセンサ (CSH/FL/SE) の両方をご用意しています。
特長
- 測定範囲 (mm)：0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3 | 5
- 直線性：最小0.25 µm
- 分解能：最小0.075 nm
- 温度範囲：-270～+200 °C
- 極低温、クリーンルーム、超高真空 (UHV)、強磁場などの過酷な環境向け
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限られた設置スペース向けの超小型センサ
Micro-Epsilonは、限られた設置スペースへの組み込みに適した極めて小型の静電容量式センサを提供しています。直径3 mmの円筒形センサ、厚み0.35 mmの超薄型センサ、あるいは曲げ可能なPCB仕様であっても、測定点で要するスペースはごくわずかです。さらに、測定範囲はセンサ先端から開始するため、設置スペースも節約できます。
三軸構造 - 最大の信号安定性
Micro-Epsilonの静電容量式センサは三軸構造を採用しており、従来のセンサとは明確に異なります。一体型ガードリングにより非常に均一な測定電界が形成され、高い信号安定性を維持しつつ、極めて高精度な測定の基盤となります。電気的にシールドされたセンサケーブルは、外部干渉の影響を最小限に抑え、特に低ノイズで信頼性の高い測定信号を実現します。
測定範囲の拡大・縮小
使用時の柔軟性を高めるため、工場出荷時のコントローラ調整により、測定範囲を係数（0.5や2など）で拡大または縮小できます。これにより、既存のセンサ形状をより広い測定範囲でも利用でき、測定範囲の縮小により測定精度を向上させることもできます。
真空および厚み測定用オプション
豊富なアクセサリにより、センサをさまざまなアプリケーションに合わせて最適にカスタマイズできます。このカスタマイズには、フィードスルーなどの真空用コンポーネントや真空対応センサケーブルに加え、個別仕様のケーブル長および特殊な測定タスク向けの拡張オプションが含まれます。両側からの厚み測定では、オプションの取付ブラケットによりマルチトラックソリューションを実現でき、必要に応じて校正も可能です。さらに、ギャップセンサ用エアパージアタッチメントは、要求の厳しい環境における信頼性の高い運用を支援します。