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capaNCDT


高精度な静電容量センサ技術のリーダー

極めて高い分解能:0.03 ナノメートル

距離・ギャップ・厚み測定に対応した多彩なアプリケーション

高精度な距離測定用の静電容量式センサ

静電容量式センサは最高の信号安定性を備え、高精度の距離測定に用いられます。技術のリーディングカンパニーであるMicro-Epsilonは、世界で最も高性能な製品ラインアップを擁し、多様な測定タスク向けソリューションを提供しています。コンパクトな構造、堅牢なセンサ、多彩なカスタマイズオプションにより、これらのシステムは、半導体産業の高精度な機械制御から電池製造における連続的なプロセス監視に至るまで、さまざまな産業用アプリケーションに柔軟に統合できます。
Micro-Epsilon - 高精度な静電容量計測のベンチマーク。

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特徴

  1. 変位、距離、ギャップ、厚みを高精度に測定
  2. 30ピコメートルまでの最高の分解能
  3. あらゆる導電性の測定対象物で汎用的に使用可能
  4. 過酷な環境条件に対応:-270~+800°Cまたは超高真空 (UHV)
  5. 温度変動下でも極めて高い安定性
  6. 多様なアプリケーションに対応する最先端の製品ラインアップ
  7. OEMの量産用途向けに最適化されたセンサおよびコントローラ
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Micro-Epsilon Japan株式会社
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距離・厚み・ギャップの測定を、さらに高精度に。

0.00000003 mm | 新たな基準を打ち立てる精度

静電容量式センサの分解能は最大30ピコメートルに達します。これにより、ごく微小な距離変化も検出できます。直線性がわずか80ナノメートルのセンサは、比類のない精度と最高レベルの安定性を実現します。

低ノイズ技術により、最大の信号安定性を実現

Micro-Epsilonの静電容量式センサは、要求の厳しいアプリケーションにおいても、最大の信号安定性と最高の測定精度を実現します。内蔵の低ノイズ技術は、三軸のセンサ構成と電気的にシールドされたセンサケーブルを組み合わせたものです。これにより、干渉の影響が効果的に低減され、特に安定性が高く、低ノイズの測定信号が得られます。

さらなる利点:多チャンネル測定においては、センサ同士の接触が許容されるため、特にコンパクトなセンサ配置が可能です。運用信頼性向上のため、センサは短絡保護設計になっています。

あらゆる環境で高精度 - クリーンルームから生産ラインまで

  • 最大の信号安定性を実現するセンサの特殊構成技術
  • インバー、チタン、または特殊合金(例:インコネル)などの、温度安定性に優れた非磁性材料
  • 低発塵・低アウトガスのセンサならびにクリーンルーム対応のクリーンケーブル
  • 周囲環境との相互作用なし(例:力や熱の伝達による影響なし)

完全な互換性:世界最大の組み合わせバリエーション

capaNCDTは、最大限の柔軟性、完全な互換性、最高の精度を実現します。センサ、ケーブル、コントローラは相互に完全な互換性があり、他の測定範囲への切り替え時でも迅速かつ容易に交換できます。これにより、現場で数秒でのセンサ交換が可能になり、ダウンタイムを最小限に抑えます。高い精度が要求されるアプリケーション向けに、LC(Linearity Calibration:直線性校正)調整により直線性を最適化します。その結果、最大の柔軟性と最高水準の運用信頼性を同時に実現します。

コンパクトで容易に組み込み可能

Micro-Epsilonの静電容量式センサは、コンパクトなセンサ設計と特別に開発された超小型モデルにより、機械への組み込みや後付けが特に容易です。電流・電圧出力からRS485やEthernet、フィールドバスに至るまでの柔軟な産業用インターフェースにより、既存の自動化環境へのシームレスな統合を可能にします。

センサおよびケーブルの堅牢な取り付けと、周到に設計された設置コンセプトにより、迅速かつ安全な運転開始を実現します。高い衛生基準が求められるアプリケーション向けに、CSFモデルはさらに、容易に洗浄可能なセンサ表面と、特に設置スペースが極めて限られる状況に適したフレキシブルで曲げ可能なPCBセンサを提供しています。

静電容量式センサの動作原理

静電容量式センサの機能原理は、静電容量変化の検出に基づいています。平板コンデンサでは、距離の変化または測定ギャップへの誘電体の挿入によって、一定サイズの2枚のプレート間で静電容量が変化します。静電容量測定法では、センサ(測定電極)と導電性の測定対象物が理想的な平板コンデンサのような役割を果たします。一定周波数の交流がセンサコンデンサ内を流れると、センサの交流電圧の振幅は測定対象物(接地電極)の距離に比例します。一定の測定結果を得るためには、センサと測定対象物間の誘電率が一定である必要があります。

応用分野