ナノメートル精度の絶対距離測定のための白色光干渉計

New:Absolute distance measurements with maximum precision
interferoMETER IMS5400-DS
Absolute distance measurements with maximum precision

新しい白色光干渉計 IMS5400-DSは、工業分野における距離測定に新たな視点を切り開きます。このコントローラにはインテリジェントな評価機能が搭載されており、比較的長いオフセット距離でナノメートル精度の絶対測定を行うことができます。そのため、IMS5400-DSは、他の絶対測定光学システムと比較して、精度、測定範囲、オフセット距離から成る比類ない組み合わせを提供しています。

特徴
  • ナノメートル精度の距離測定
  • 段付きプロファイルなどの測定に最適な絶対測定
  • オフセット距離が長く、コンパクトで堅固なセンサ
  • 高速測定に対応した最大6 kHzの測定レート
  • Ethernet、EtherCAT、RS422
  • 受動冷却機能を備えた堅固なコントローラ
  • Webインターフェースを介した容易な設定

ナノメートル精度の分解能による絶対距離測定

IMS5400-DSは、高精度な変位・距離測定に使用されます。従来の干渉計とは異なり、IMS5400-DSは段付きプロファイルの安定した測定も可能です。絶対測定により、高い信号安定性と精度で段差のスキャンを行います。そのため、可動測定対象物を測定する際にヒール、段差、くぼみの高低差を確実に検知することができます。 

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