最高精度の分解能を保証する静電容量マルチチャネルシステム
静電容量式変位センサは、最高精度の分解能が要求される測定タスク用に設計されています。静電容量マルチチャネルシステムcapaNCDT 6500はサブナノメートルレベルでの安定した測定に適しており、コントローラのデータ転送最高速度は最大7.8 kHz（デジタル、最大4チャネル）、帯域幅は8.5 kHzです。アナログ出力の他にも、EtherCAT®がインターフェースとして使用でき、EtherCATによりエラーフリーかつリアルタイムのデータ転送や、現行の測定環境への素早い統合、2つのシステムの同期が可能となっています。また、capaNCDT 6500のコンフィグレーションはウェブブラウザを介して簡単に行うことができます。
- 測定範囲（mm）：0.05 | 0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
- 分解能 最大0.0375 nm
- 直線性 最大0.01 µm
- 応答性 8.5kHz（-3 dB）
- データ転送速度（デジタル出力）7.8 kHz
- アナログ出力（電圧／電流）
- Ethernet、EtherCAT
- モジュラー式（最大8つの測定チャネル）
- 外部または内部プリアンプ
- ウェブインターフェースを介した簡単なコンフィグレーション
最高精度の分解能
capaNCDT 6500システムは、サブナノメートルの分解能が要求される測定タスクのために設計されています。とりわけ半導体産業分野でのポジショニングや、研究所で使用する場合にcapaNCDT 6500の強みが発揮されます。このシステムはモジュラー構造で、マルチチャネルで使用できるように設計されており、プリアンプを介して最大8つまでのセンサを信号処理エレクトロニクスに接続することができます。
ウェブインターフェースを介した簡単な操作
コントローラとセンサのコンフィグレーションはすべて、操作の簡単なウェブインターフェースを介して行うことができます。追加ソフトウェアは必要ありません。Ethernet接続でウェブインターフェースを呼び出せば、設定をすべてそこで行うことができるので、フィルタや算術演算だけでなく、トリガー機能や測定値保存、リニアライズといったその他のパラメータを簡単に適用することができます。
静電容量コントローラDT6530は、静電容量式変位測定において最高度の分解能と信号安定性を提供します。最大8チャネルで作動でき、導電性対象物の測定だけでなく絶縁体の測定にも適しています。アナログ出力の他にデジタルインターフェースとしてEthernetも使用でき、capaNCDTシリーズのあらゆるセンサやケーブルと互換性があります。
- 動的分解能0.002 % FSO（8.5 kHz）
- 応答性8.5 kHz（-3 dB）（20 Hz、1 kHz、8.5 kHzの間で切り替え可能）
- 出力0～10 V（ショート保護機能付き）、4～20 mA；0～20mA
- デジタルインターフェースEthernet 24 Bit；EtherCAT
- 長さが標準の4倍までの特注ケーブル
このマウントブラケットは、静電容量センサを使用した両面厚さ測定用に設計されており、測定点を互いに合わせるのに役立ちます。このブラケットを使えばセンサを1本の軸上に正確に置くことができ、測定点の配置が完全に一致するので、測定のタイミングのずれを防ぎ、信頼性の高い測定結果を最大限に高い精度で得ることができます。マウントブラケットには最大6個のセンサが取り付けられるスペースがあり、2つのセンサで1つの測定点を形成します。
- 最大3点での同時マルチトラック厚さ測定
- 高い温度安定性で最大100 °Cまでの温度で正確な測定が可能
- 真空に対応
- 極めてコンパクトなフォームファクタ
- 既存システムへの組み込みやレトロフィットが簡単
- capaNCDTセンサモデルに対応
- 校正可能な設計により高精度な厚さ測定が可能
