SHSLab

Shack-Hartmann wavefront sensors

SHSlabは高精度に組み上げられたシャックハルトマンカメラ(SHSCam)とオールインワンソフトウエア(SHSWorks)で構成されており、箱を開けたその時から高精度で計測を始めることのできる波面計測システムです。レーザー光の特性計測、光学部品計測、光学系のアライメント等の様々なアプリケーションに対応し、高速でありながら、高精度で計測することが可能です。

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特徴

高速計測/シングルショット測定可能
参照光がなくても高い精度で計測
比類なき波面ダイナミックレンジと幅広い波長に対応
高い計測安定性が裏付ける計測の信頼性
ユーザーのやりたいに答えるカスタマイズ性の高いソフトウエア
完成されたハードとソフトで様々なアプリケーションに対応可能
Optocraft社の装置はプロフェッショナルなサポートと信頼性でR&Dから製造まで世界中の現場で使用されております。

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Micro-Epsilon Japan K.K.

+81 6 6170 5257

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SHSLab 波面センサアプリケーション

Alignment of optical systems — 光学システムアライメント: 高速・高精度の波面計を使用することにより、どの様なエラーが発生しているかがわかるので、アライメントを効率よく行うことができます。

Laser beam measurement — レーザー測定：シングルショットからCWまで様々な光源の計測が追加レンズなしで計測が可能。プロファイルと波面の同時計測によりリアルタイムでM², Rayleigh length等の計測が可能です。 .

Optics testing — 光学部品計測: 透過波面の計測により、レンズ特性の計測が可能です。シングルショットの計測で波面・ゼルニケ解析・MTF・PSFをはじめとする様々な解析が可能です。光源やステージ等の組み合わせで焦点距離や色収差等の計測を軸上/軸外で行うことができます。

SHSCam family

幅広いラインナップで様々なアプリケーションに対応可能なシャックハルトマン波面センサ

SHSCam AR2 - 小型ディテクタに超高密度MLA採用のシャックハルトマンセンサ
SHSCam HR2 - 高感度、高精度の中版サイズシャックハルトマンセンサ
SHSCam SHR4 - 大判ディテクターに高密MLAを搭載したシャックハルトマンセンサ。
SHSCam UHR3 - 15.2mm²サイズディテクターに高密MLAを搭載したシャックハルトマンセンサ
SHSCam XHR2 - 超大判フルサイズディテクタのシャックハルトマンセンサ。
SHSCam - Sシリーズ - 超高速演算対応。FSO等のアプリケーションに最適なシャックハルトマンセンサ
SHSCam - UVシリーズ – UV光用に最適化をされたシャックハルトマンセンサ
SHSCam UHR DUV - 200nm以下のDUV波長に最適化されたシャックハルトマンセンサ
SHSCam SWIR - IR光用シャックハルトマンセンサ。

SHSCam family

SHSLab performance - examples

Extreme tilt dynamic — "非常に大きなチルト計測： 1000λ(PV)を超えるTiltとDefocusの計測が可能入射角度で±15°入射での計測が可能"

Extreme curvature dynamic — 非常に大きな波面ダイナミックレンジ：平面光と100λ(PV)以上の波面が混在するランダムな波面でも計測が可能。波面曲率にすると∞から±10mmまで計測可能。

Excellent accuracy unreferenced sensor — 参照光なしでも高い精度：箱から出した瞬間から6nm(rms)の精度で計測可能。

SHSWorks - オールインワンの波面計測・分析ソフトウエア

詳細な波面分析により、様々なアプリケーションにも対応ができるパワフルなソフトウエア

20次 120項まで対応するゼルニケ解析
PSF/MTF解析
レーザー光源解析
全ての設定情報をセットアップファイルとして保存。ワンクリック(コマンド)で変更可能
瞬時に行うカスタマイズ性の高い詳細な合否判定
多彩な自動レポート&ログ機能

Advanced wavefront metrology software

SHSLab測定原理

マイクロレンズアレイから得た最適なスポットの位置情報をディテクタ上で計測し、自社開発のアルゴリズムによりダイレクトに波面を演算します。

波面 => マイクロレンズ => ディテクタ

ディテクタ上のスポット位置情報

演算された波面

波面によって計測できること(一例)

ゼルニケ展開: 個別の項での解析

PSF/MTF計測: 任意のゼルニケ項を差し引いて演算が可能でどの収差がMTF/PSFに影響を与えているかの解析

レーザー光解析: 波面とプロファイルの計測からビームウエスト位置、広がり角、レイリー長の演算・M²の計測

ゼルニケ計測

PSF/MTF計測

Single shot measurement — シングルショットからCWまで様々な光源の計測が追加レンズなしで計測が可能。プロファイルと波面の同時計測によりリアルタイムでM², Rayleigh length等の計測が可能です。

SHSCam AR2

小型ディテクタながら高細密

ディテクタサイズ: 4.8x3.6mm
選べるMLA数: 43x32, 71x53
解析速度: 30Hz
計測波長範囲: 400-1100nm

SHSCam HR2

中版サイズのディテクタに細密なマイクロレンズを搭載。インターフェースをUSB3.0, GigaEthernetから選べる。
高感度・高精度のオールラウンドシャックハルトマンセンサ

ディテクタサイズ: 11.2 x 7.0 mm
選べる横分解能: 85 x 53, 125 x 79 スポット
解析速度: 14, 20Hz
計測波長範囲: 400-1100nm

SHSCam SHR4

高い分解能で様々なアプリケーションに対応

インターフェースをUSB3.0, GigaEthernetから選択可能
ディテクタサイズ: 10.3 x 10.3 mm
選べる横分解能: 79 x 79, 117 x 117スポット
解析速度: 3Hz
計測波長範囲: 400-1100nm

広いディテクタサイズ、超高分解能で様々なアプリケーションに対応。

GigaEthernet接続で簡単設定
ディテクタサイズ: 15.2 x 15.2 mm
超高分解能: 117 x 117, 203 x 203スポット
解析速度: >7Hz
計測波長範囲: 400-1100nm

広いディテクタサイズ、超高分解能で様々なアプリケーションに対応。

GigaEthernet接続で簡単設定
ディテクタサイズ: 36.4 x 27.6 mm
超高分解能: 331 x 251スポット
解析速度: 1Hz
計測波長範囲: 375-900nm

最高速度1kHzの高精度、超高速を両立したシャックハルトマンセンサでAO用途や製造ラインでの計測、アライメントに最適。

インターフェースGiga Ethernet, Camera Linkの2種。
ディテクタサイズ: 4.8 x 3.6㎜, 10.3 x 8.5 mm
選べる横分解能: 32 x 24, 37 x 28, 69 x 57スポット
解析速度: 50-1000Hz (1kHzのスピード時には範囲指定が必要となります。また、ソフトウエアはdllベースのものとなります)
計測波長範囲: 400-1100nm

UV光に感度の高いハードウエアでより効率的に微細なUV光の波面を計測できます。また高い分解能で様々なアプリケーションに対応。

GigaEthernetインターフェース簡単接続
ディテクタサイズ: 8.9 x 6.7, 8.7 x 6.5, 15.1 x 15.1mm
選べる横分解能: 69 x 51, 67 x 49, 116 x 116 スポット
解析速度: <20Hz
計測波長範囲: 193-355nm

高品質IRカメラを使用したSWIR光用シャックハルトマンセンサ。赤外フィルターやレンズ等の計測を含め、様々なアプリケーションに対応

GigaEthernetインターフェース簡単接続
ディテクタサイズ: 15.9 x 12.7, 9.6 x 7.6mm
横分解能:45 x36, 45 x 35スポット
解析速度: 30Hz
計測波長範囲: 900-1700nm

ダウンロード

Catalogs and data sheets

SHSLab シャックハルトマンセンサ (pdf, 602.70 KB)