共焦点式変位・距離・位置および厚さ測定センサシステム
共焦点クロマティック式測定システムconfocalDTは、素早く距離測定と厚さ測定を行いたい場合に使用されます。様々なセンサモデルやコントローラインターフェースがあるので、半導体産業やガラス産業、医療技術、プラスチック製造といった多種多少な分野で役立てることができます。光点が小さいため、微細な構造も確実に測定が可能です。
ほぼあらゆる表面で正確な変位・距離測定が可能
共焦点クロマティック式測定により、拡散反射表面でも鏡面反射表面でも高精度で変位や距離を測定することができます。光点が小さいため微小な測定対象もきちんと捉え、照射が軸方向でシャドーイング効果も発生ないので、スリーブやくぼみでの測定にも使用が可能です。また、90°側視タイプなら穴やくぼみの内壁検査を行うことができます。
センサの位置合わせができる調整可能なマウントアダプター
精度を最大限に高めるには、共焦点センサを測定対象物に対してできるだけ直交するように配置する必要があります。調整可能なマウントアダプターを使用すれば、どのConfocalDTセンサも測定対象に対して最適な位置に配置することができ、機械に取り付けた後にアライメントを行うことも可能です。この産業用アダプターはセンサをX、Y方向に移動させたり、対象物に対して傾斜させることができます。
透明体の厚さを片側から測定
共焦点クロマティック式による測定原理は、ガラスのような透明な物質の厚さ測定を可能にします。1つのセンサだけで厚さをマイクロメーターまで正確に検知します。コントローラ内にはそれぞれ編集や拡張が可能な物質データバンクが入っており、屈折率のような物質ごとに特有となるパラメータは、ウェブインターフェースを介して簡単に適応させることができます。ピークは最大6つまで評価できるので（マルチピーク測定）、合わせガラスといった多層の対象物も測定が可能です。
真空内でも使用可能
confocalDT センサは受動部品で構成されていて、周囲に熱放射をしません。真空内での使用において、マイクロエプシロンはそれぞれの仕様に適した特殊センサ、ケーブル、アクセサリ部品をご提供しています。
動的測定では最速の測定レート
高い測定レートでは、露光がそれぞれの表面に適合していることが極めて重要です。このため、CCDラインの露光はconfocalDTコントローラーで動的に制御されます。この制御により、測定対象物の色や反射率の変化が補正され、高い測定レートでの測定精度が向上します。
極小かつ微細な構造を測定する世界最小の集光点
マイクロエプシロンの共焦点センサは、非常に高い開口数（NA）で <3 µm という極めて小さい集光点を生成できるので、極小かつ微細な構造も確かな信頼性で捉えます。
大きい傾斜角
confocalDT IFS センサの傾斜角は最大48°と非常に大きいので、曲率の大きい表面や構造表面であっても確実に捕らえ、安定した信号を生成します。
高分解能で素早いコントローラ
confocalDTコントローラはSN比が大変優れており、最高精度の測定を行うことができます。confocalDTコントローラは世界最速のコントローラの1つに数えられており、動的モニタリングで使用されるケースが多くあります。素早い表面補正が露光サイクルを制御するので高い安定性が得られ、反射特性が変化する表面では特に有利です。インターフェースにはEtherCAT、Ethernet、RS422およびAnalog Outが使用できます。
ウェブインターフェースを介した簡単な操作
コントローラとセンサのコンフィグレーションはすべて、操作の簡単なウェブインターフェースを介して行うことができます。追加ソフトウェアは必要ありません。Ethernet接続でウェブインターフェースを呼び出せば、設定をすべてそこで行うことができます。厚さ測定のための物質データバンクが入っており、このデータバンクは自由に拡張が可能です。
Interface and signal processing units
インターフェースが多く統合が簡単
Application
