シャックハルトマン波面センサー

SHSlabは高精度に組み上げられたシャックハルトマンカメラ(SHSCam)とオールインワンソフトウエア(SHSWorks)で構成されており、箱を開けたその時から高精度で計測を始めることのできる波面計測システムです。レーザー光の特性計測、光学部品計測、光学系のアライメント等の様々なアプリケーションに対応し、高速でありながら、高精度で計測することが可能です。

特徴
  • 高速計測/シングルショット測定可能
  • 参照光がなくても高い精度で計測
  • 比類なき波面ダイナミックレンジと幅広い波長に対応
  • 高い計測安定性が裏付ける計測の信頼性
  • ユーザーのやりたいに答えるカスタマイズ性の高いソフトウエア
  • 完成されたハードとソフトで様々なアプリケーションに対応可能
  • Optocraft社の装置はプロフェッショナルなサポートと信頼性でR&Dから製造まで世界中の現場で使用されております。

SHSLab 波面センサ アプリケーション

光学システムアライメント:  高速・高精度の波面計を使用することにより、どの様なエラーが発生しているかがわかるので、アライメントを効率よく行うことができます。
光学システムアライメント: 高速・高精度の波面計を使用することにより、どの様なエラーが発生しているかがわかるので、アライメントを効率よく行うことができます。
レーザー測定:  シングルショットからCWまで様々な光源の計測が追加レンズなしで計測が可能。プロファイルと波面の同時計測によりリアルタイムでM², Rayleigh length等の計測が可能です。  .
レーザー測定: シングルショットからCWまで様々な光源の計測が追加レンズなしで計測が可能。プロファイルと波面の同時計測によりリアルタイムでM², Rayleigh length等の計測が可能です。 .
光学部品計測:  透過波面の計測により、レンズ特性の計測が可能です。シングルショットの計測で波面・ゼルニケ解析・MTF・PSFをはじめとする様々な解析が可能です。光源やステージ等の組み合わせで焦点距離や色収差等の計測を軸上/軸外で行うことができます。
光学部品計測: 透過波面の計測により、レンズ特性の計測が可能です。シングルショットの計測で波面・ゼルニケ解析・MTF・PSFをはじめとする様々な解析が可能です。光源やステージ等の組み合わせで焦点距離や色収差等の計測を軸上/軸外で行うことができます。

SHSCam family

幅広いラインナップで様々なアプリケーションに対応可能なシャックハルトマン波面センサ

  • SHSCam AR2 - 小型ディテクタに超高密度MLA採用のシャックハルトマンセンサ
  • SHSCam HR2 - 高感度、高精度の中版サイズシャックハルトマンセンサ
  • SHSCam SHR4 - 大判ディテクターに高密MLAを搭載したシャックハルトマンセンサ。
  • SHSCam UHR3 - 15.2mm²サイズディテクターに高密MLAを搭載したシャックハルトマンセンサ  
  • SHSCam XHR2 - 超大判フルサイズディテクタのシャックハルトマンセンサ。
  • SHSCam - Sシリーズ - 超高速演算対応。FSO等のアプリケーションに最適なシャックハルトマンセンサ
  • SHSCam - UVシリーズ – UV光用に最適化をされたシャックハルトマンセンサ
  • SHSCam UHR DUV - 200nm以下のDUV波長に最適化されたシャックハルトマンセンサ
  • SHSCam SWIR - IR光用シャックハルトマンセンサ。

SHSLab performance - examples

"非常に大きなチルト計測: 1000λ(PV)を超えるTiltとDefocusの計測が可能入射角度で±15°入射での計測が可能"
非常に大きな波面ダイナミックレンジ:  平面光と100λ(PV)以上の波面が混在するランダムな波面でも計測が可能。波面曲率にすると∞から±10mmまで計測可能。
非常に大きな波面ダイナミックレンジ: 平面光と100λ(PV)以上の波面が混在するランダムな波面でも計測が可能。波面曲率にすると∞から±10mmまで計測可能。
参照光なしでも高い精度:箱から出した瞬間から6nm(rms)の精度で計測可能。
参照光なしでも高い精度:箱から出した瞬間から6nm(rms)の精度で計測可能。

SHSWorks - オールインワンの波面計測・分析ソフトウエア

詳細な波面分析により、様々なアプリケーションにも対応ができるパワフルなソフトウエア

  • 20次 120項まで対応するゼルニケ解析
  • PSF/MTF解析
  • レーザー光源解析
  • 全ての設定情報をセットアップファイルとして保存。ワンクリック(コマンド)で変更可能
  • 瞬時に行うカスタマイズ性の高い詳細な合否判定
  • 多彩な自動レポート&ログ機能

SHSLab測定原理

マイクロレンズアレイから得た最適なスポットの位置情報をディテクタ上で計測し、自社開発のアルゴリズムによりダイレクトに波面を演算します。

波面 =>  マイクロレンズ => ディテクタ
波面 => マイクロレンズ => ディテクタ
ディテクタ上のスポット位置情報
ディテクタ上のスポット位置情報
演算された波面
演算された波面

波面によって計測できること(一例)

ゼルニケ展開: 個別の項での解析
PSF/MTF計測: 任意のゼルニケ項を差し引いて演算が可能でどの収差がMTF/PSFに影響を与えているかの解析
レーザー光解析: 波面とプロファイルの計測からビームウエスト位置、広がり角、レイリー長の演算・M²の計測

ゼルニケ計測
ゼルニケ計測
PSF/MTF計測
PSF/MTF計測
シングルショットからCWまで様々な光源の計測が追加レンズなしで計測が可能。プロファイルと波面の同時計測によりリアルタイムでM², Rayleigh length等の計測が可能です。
シングルショットからCWまで様々な光源の計測が追加レンズなしで計測が可能。プロファイルと波面の同時計測によりリアルタイムでM², Rayleigh length等の計測が可能です。
lab-AR2

小型ディテクタながら高細密

  • ディテクタサイズ: 4.8x3.6mm
  • 選べるMLA数: 43x32, 71x53
  • 解析速度: 30Hz
  • 計測波長範囲: 400-1100nm
lab-HR2

中版サイズのディテクタに細密なマイクロレンズを搭載。インターフェースをUSB3.0, GigaEthernetから選べる。
高感度・高精度のオールラウンドシャックハルトマンセンサ

  • ディテクタサイズ: 11.2 x 7.0 mm
  • 選べる横分解能: 85 x 53, 125 x 79 スポット
  • 解析速度: 14, 20Hz
  • 計測波長範囲: 400-1100nm
lab-SHR4

高い分解能で様々なアプリケーションに対応

  • インターフェースをUSB3.0, GigaEthernetから選択可能
  • ディテクタサイズ: 10.3 x 10.3 mm
  • 選べる横分解能: 79 x 79, 117 x 117スポット
  • 解析速度: 3Hz
  • 計測波長範囲: 400-1100nm

広いディテクタサイズ、超高分解能で様々なアプリケーションに対応。

  • GigaEthernet接続で簡単設定
  • ディテクタサイズ: 15.2 x 15.2 mm
  • 超高分解能: 117 x 117, 203 x 203スポット
  • 解析速度: >7Hz
  • 計測波長範囲: 400-1100nm

広いディテクタサイズ、超高分解能で様々なアプリケーションに対応。

  • GigaEthernet接続で簡単設定
  • ディテクタサイズ: 36.4 x 27.6 mm
  • 超高分解能: 331 x 251スポット
  • 解析速度: 1Hz
  • 計測波長範囲: 375-900nm

最高速度1kHzの高精度、超高速を両立したシャックハルトマンセンサでAO用途や製造ラインでの計測、アライメントに最適。

  • インターフェースGiga Ethernet, Camera Linkの2種。
  • ディテクタサイズ: 4.8 x 3.6㎜, 10.3 x 8.5 mm
  • 選べる横分解能: 32 x 24, 37 x 28, 69 x 57スポット
  • 解析速度: 50-1000Hz (1kHzのスピード時には範囲指定が必要となります。また、ソフトウエアはdllベースのものとなります)
  • 計測波長範囲: 400-1100nm

UV光に感度の高いハードウエアでより効率的に微細なUV光の波面を計測できます。また高い分解能で様々なアプリケーションに対応。

  • GigaEthernetインターフェース簡単接続
  • ディテクタサイズ: 8.9 x 6.7, 8.7 x 6.5, 15.1 x 15.1mm
  • 選べる横分解能: 69 x 51, 67 x 49, 116 x 116 スポット
  • 解析速度: <20Hz
  • 計測波長範囲: 193-355nm

高品質IRカメラを使用したSWIR光用シャックハルトマンセンサ。赤外フィルターやレンズ等の計測を含め、様々なアプリケーションに対応

  • GigaEthernetインターフェース簡単接続
  • ディテクタサイズ: 15.9 x 12.7, 9.6 x 7.6mm
  • 横分解能:45 x36, 45 x 35スポット
  • 解析速度: 30Hz
  • 計測波長範囲: 900-1700nm

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