静電容量変位センサのモデル一覧

capaNCDT

Cylindric, capacitive displacement sensors

capaNCDT

Cylindric, capacitive displacement sensors with integrated cable

capaNCDT

Capacitive flat sensors

capaNCDT

Capacitive gap sensors

マイクロエプシロン社の静電容量変位センサは、様々なフォームファクタや仕様でお求めいただけます。測定範囲やフォームファクタ、製造技術の異なるモデルがあり、静電容量変位センサは円筒形状（内蔵ケーブルあるいはソケット）またはフラットタイプ（内蔵ケーブル）からお選びいただけます。変位センサは再校正なしで交換できるので、短時間でセンサの交換を行うことができます。また、大半のセンサがクリーンルームや超高真空内で使用可能です。

マイクロエプシロン社製静電容量センサの詳細情報については、各項目をクリックしてご覧ください。

ソケットの備わったボルト型センサー

モデル	測定範囲	ターゲット最小直径	外径寸法
CSE05/M8	0,5 mm	Ø6 mm	Ø8 x 17 mm
CSE1,25/M12	1,25 mm	Ø10 mm	Ø12 x 22 mm
CSE2/M16	2 mm	Ø14 mm	Ø16 x 22mm
CSE3/M24	3 mm	Ø20 mm	Ø24 x 30 mm

CS = capa Sensor
E = extended measuring range

Details

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CSE05/M8

質量:	3,5 g
分解能:	0,375 nm *
直線性:	≤ ±0,15 µm *
温度安定性:	-5 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CSE1,25/M12

質量:	11,5 g
分解能:	0,95 nm *
直線性:	≤ ±1,25 µm *
温度安定性:	-50 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CSE2/M16

質量:	35 g
分解能:	1,5 nm *
直線性:	≤ ±2 µm *
温度安定性:	-80 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CSE3/M24

質量:	80 g
分解能:	2,25 nm *
直線性:	≤ ±3 µm *
温度安定性:	-85 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

円筒形状センサ（ソケットタイプ）

モデル	測定範囲	ターゲット最小直径	外径寸法
CS005	0,05 mm	3 mm	Ø6 × 12 mm
CS02	0,2 mm	5 mm	Ø6 × 12 mm
CS05	0,5 mm	7 mm	Ø8 × 12 mm
CSE05	0,5 mm	6 mm	Ø6 × 12 mm
CS08	0,8 mm	9 mm	Ø10 × 15 mm
CS1	1 mm	9 mm	Ø10 × 21 mm
CS1HP	1 mm	9 mm	Ø10 × 20 mm
CSE1	1 mm	8 mm	Ø8 × 12 mm
CS2	2 mm	17 mm	Ø20 × 24 mm
CSE2	2 mm	14 mm	Ø14 × 22 mm
CS3	3 mm	27 mm	Ø30 × 24 mm
CS5	5 mm	37 mm	Ø40 × 24 mm
CS10	10 mm	57 mm	Ø60 × 24 mm

CS = capa Sensor
HP = High Precision

Details

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CS005

質量:	2 g
分解能:	0,0375 nm *
直線性:	0,15 µm *
温度安定性:	-0,5 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CS02

質量:	2 g
分解能:	0,15 nm *
直線性:	0,04 µm *
温度安定性:	-2 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CS05

質量:	4 g
分解能:	0,375 nm *
直線性:	0,5 µm *
温度安定性:	-5 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CSE05

質量:	2 g
分解能:	0,375 nm *
直線性:	0,15 µm *
温度安定性:	-5 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CS08

質量:	7 g
分解能:	0,6 nm *
直線性:	0,4 µm *
温度安定性:	-8 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CS1

質量:	8 g
分解能:	0,75 nm *
直線性:	1,5 µm *
温度安定性:	-32 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CS1HP

質量:	8 g
分解能:	0,75 nm *
直線性:	1,5 µm *
温度安定性:	-10 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CSE1

質量:	3,5 g
分解能:	0,75 nm *
直線性:	2 µm *
温度安定性:	-10 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CS2

質量:	50 g
分解能:	1,5 nm *
直線性:	1 µm *
温度安定性:	-64 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CSE2

質量:	20 g
分解能:	1,5 nm *
直線性:	2,6 µm *
温度安定性:	-64 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CS3

質量:	70 g
分解能:	2,25 nm *
直線性:	0,9 µm *
温度安定性:	-96 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CS5

質量:	95 g
分解能:	3,75 nm *
直線性:	2,5 µm *
温度安定性:	-160 nm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

CS10

質量:	180 g
分解能:	7,5 nm *
直線性:	15 µm *
温度安定性:	-320 nm/ppm/°C
作動温度:	+200 °C

* depends on controller

円筒形状センサ（内蔵ケーブルタイプ）

モデル	測定範囲	ターゲット最小直径	外径寸法
CSH02-CAm1,4	0,2 mm	7 mm	Ø8 × 14 mm
CSH05-CAm1,4	0,5 mm	7 mm	Ø8 × 14 mm
CSH1-CAm1,4	1 mm	11 mm	Ø12 × 14 mm
CSH1,2-CAm1,4	1,2 mm	11 mm	Ø12 × 14 mm
CSH2-CAm1,4	2 mm	17 mm	Ø20 × 14 mm

CSH = capa Sensor Hybrid

Details

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CSH02-CAm1,4

質量:	30 g
分解能:	0,15 nm *
直線性:	0,054 µm *
温度安定性:	-2,4 nm/°C
作動温度:	+200 °C
ケーブル長:	1,4 m

* depends on controller

CSH05-CAm1,4

質量:	30 g
分解能:	0,38 nm *
直線性:	0,13 µm *
温度安定性:	-6 nm/°C
作動温度:	+200 °C
ケーブル長:	1,4 m

* depends on controller

CSH1-CAm1,4

質量:	33 g
分解能:	0,75 nm *
直線性:	0,13 µm *
温度安定性:	-12 nm/°C
作動温度:	+200 °C
ケーブル長:	1,4 m

* depends on controller

CSH1,2-CAm1,4

質量:	33 g
分解能:	0,9 nm *
直線性:	0,84 µm *
温度安定性:	-14,4 nm/°C
作動温度:	+200 °C
ケーブル長:	1,4 m

* depends on controller

CSH2-CAm1,4

質量:	38 g
分解能:	1,5 nm *
直線性:	0,5 µm *
温度安定性:	-24 nm/°C
作動温度:	+200 °C
ケーブル長:	1,4 m

* depends on controller

フラット形状センサ（内蔵ケーブル付き）

モデル	測定範囲	ターゲット最小直径	外径寸法
CSH02FL-CRm1,4	0,2 mm	7 mm	10,5 × 8 × 4 mm
CSH05FL-CRm1,4	0,5 mm	7 mm	10,5 × 8 × 4 mm
CSH1FL-CRm1,4	1 mm	11 mm	17 × 12 × 4 mm
CSH1,2FL-CRm1,4	1,2 mm	11 mm	17 × 12 × 4 mm
CSH2FL-CRm1,4	2 mm	17 mm	20 × 20 × 5 mm

CSH = capa Sensor Hybrid
FL = Flat Design

Details

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CSH02FL-CRm1,4

質量:	28 g
分解能:	0,15 nm *
直線性:	0,05 µm *
温度安定性:	-2,4 nm/°C
作動温度:	+200 °C
ケーブル長:	1,4 m

* depends on controller

CSH05FL-CRm1,4

質量:	28 g
分解能:	0,38 nm *
直線性:	0,09 µm *
温度安定性:	-6 nm/°C
作動温度:	+200 °C
ケーブル長:	1,4 m

* depends on controller

CSH1FL-CRm1,4

質量:	30 g
分解能:	0,75 nm *
直線性:	0,2 µm *
温度安定性:	-12 nm/°C
作動温度:	+200 °C
ケーブル長:	1,4 m

* depends on controller

CSH1,2FL-CRm1,4

質量:	30 g
分解能:	0,9 nm *
直線性:	0,84 µm *
温度安定性:	-14,4 nm/°C
作動温度:	+200 °C
ケーブル長:	1,4 m

* depends on controller

CSH2FL-CRm1,4

質量:	36 g
分解能:	1,5 nm *
直線性:	0,32 µm *
温度安定性:	-24 nm/°C
作動温度:	+200 °C
ケーブル長:	1,4 m

* depends on controller

静電容量式ギャップセンサ

モデル	測定範囲	ターゲット最小直径	外径寸法
CSG0,50-CAm2,0	0,9 - 1,9	7x8 mm	200x15x0,9
CSG1,0-CAm2,0	0,9 - 2,9 mm	8x9 mm	200x15x0,9

CSG = capa Sensor Gap

Details

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CSG0,50-CAm2,0

質量:	77 g
分解能:	4 nm *
直線性:	0,5 µm *

* depends on controller

CSG1,0-CAm2,0

質量:	77 g
分解能:	8 nm *
直線性:	1 µm *

* depends on controller