シリコン製インゴットのオリエンテーションノッチの点検

インゴットには位置合わせに必要なオリエンテーションノッチが備わっていることがが多くあります。このノッチのプロファイルの寸法精度の点検にはマイクロエプシロンのブルーレーザースキャナーが使用されており、ノッチプロファイルを高い精度で捉えます。スキャナがインゴット上で誘導され測定を行い、高精度でプロファイルデータを検出します。革新的なブルーレーザー技術により、高い信号安定性で測定値を記録することができます。