ウェーハのたわみ

共焦点クロマティックセンサがウェーハの表面をスキャンし、ウェーハのたわみやゆがみを捉えます。confocalDT コントローラは測定レートが 70 kHz でありハイダイナミックな測定が行えるので、短いタクトタイムでのウェーハ検査が可能です。

Micro-Epsilon Japan K.K.
#1003 Facade Building, 1-23-43, Esaka-cho,
Suita-shi, Osaka 564-0063, Japan
Yukihiro.Makinae@micro-epsilon.jp
+81 (0)6 6170 5257
+81 (0)6 6170 5258