ウェーハのたわみ

共焦点クロマティックセンサがウェーハの表面をスキャンし、ウェーハのたわみやゆがみを捉えます。confocalDT コントローラは測定レートが 70 kHz でありハイダイナミックな測定が行えるので、短いタクトタイムでのウェーハ検査が可能です。