ウェーハのたわみ

共焦点クロマティックセンサがウェーハの表面をスキャンし、ウェーハのたわみやゆがみを捉えます。confocalDTコントローラーは、高い測定レートを持ち、非常にダイナミックな測定が可能であるため、短いサイクルタイムでウェハ検査を行うことができる。